Fourth International Conference on Microelectronics and Interfaces (ICMI'03)

Activité: Participation ou organisation d'un événementParticipation à une conférence, un congrès

Description

Multitechnique Characterisation of Al2O3 Thin Layers Deposited on SiO2/Si surface by Atomic Layer Chemical Vapour Deposition, communivation orale. Co-au
Période3 mars 20036 mars 2003
Type d'événementUne conférence
LieuSanta Clara CA, Etats-UnisAfficher sur la carte