EVC-8, European Vacuum Congress

Activité: Participation ou organisation d'un événementParticipation à une conférence, un congrès

Description

<X-ray photoelectron spectroscopy characterization of high-k dielectric Al2O3 and HfO2 layers deposited on SiO2/Si surface > ; R. Vitchev, J.-J. Pireaux, T. Conard, H. Bender, J. Wolstenholme, Ch. Defranoux
Période23 juin 200326 juin 2003
Type d'événementUne conférence
LieuBerlin, DeutschlandAfficher sur la carte