AVS 1st international conference on advanced materials and processes for the microelectronics

Pireaux, J. (Orateur)

Activité: Types de Participation ou d'organisation d'un événementParticipation à une conférence, un congrès

Description

Communication orale: "Surface characterization of a low-dielectric-constant polymer - SilK polymer and investigation of its interface with Cu". Co-auteurs: A. Rajagopal, C. Gregoire, J.-J. Lemaire, M. Baklanov, S. Vanhaelemeersch, K. Maex & J.-J. Waeterlo
Période15 mars 199919 mars 1999
Type d'événementUne conférence
LieuSan Diego, Etats-Unis