31st Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces, PCSI-31

Vitchev, R. (Orateur)

Activité: Types de Participation ou d'organisation d'un événementParticipation à une conférence, un congrès

Description

Interfacial chemistry at high-k oxide layers on pretreated silicon wafers: XPS and TOF-SIMS study. Co-auteurs : T. Conard, H. Bender, L. Houssiau et J.J. Pireaux.
Période18 janv. 200422 janv. 2004
Type d'événementUne conférence
LieuKailua-Kona HW, Etats-Unis