16th International Conference on Reactive Sputter Deposition

Activité: Participation ou organisation d'un événementParticipation à un Colloque, une journée d'étude

Description

Predicting the main hydrocarbon chemistry pathways and deposition mechanisms in magnetron PECVD of amorphous hydrogenated carbon with a hybrid simulation approach
Période4 déc. 20176 déc. 2017
Type d'événementUne conférence
EmplacementPlzen, République tchèqueAfficher sur la carte
Degré de reconnaissanceInternational