Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron

  • Marco Jacobs

    Student thesis: Doc typesDoctor of Sciences

    Abstract

    Date of Award1998
    Original languageFrench
    SupervisorFranz BODART (Supervisor), Guy Demortier (Jury), STEPHANE LUCAS (Jury), ROBERT SPORKEN (Jury) & M. Benmalek (Jury)

    Cite this

    Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron
    Jacobs, M. (Author). 1998

    Student thesis: Doc typesDoctor of Sciences