Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron

  • Marco Jacobs

    Student thesis: Doc types › Doctor of Sciences

    Date of Award1998
    Original languageFrench
    SupervisorFranz BODART (Supervisor), Guy Demortier (Jury), Stephane Lucas (Jury), Robert Sporken (Jury) & M. Benmalek (Jury)

    Cite this

    '