Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron

  • Marco Jacobs

Student thesis: Doc typesDoctor of Sciences

Abstract

Date of Award1998
Original languageFrench
SupervisorFranz Bodart (Supervisor), Guy Demortier (Jury), Stéphane Lucas (Jury), Robert Sporken (Jury) & M. Benmalek (Jury)

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Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron
Jacobs, M. (Author). 1998

Student thesis: Doc typesDoctor of Sciences