Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron

  • Marco Jacobs

    Student thesis: Doc typesDoctor of Sciences

    Abstract

    Date of Award1998
    Original languageFrench
    SupervisorFranz BODART (Supervisor), Guy Demortier (Jury), Stephane Lucas (Jury), ROBERT SPORKEN (Jury) & M. Benmalek (Jury)

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