Application des méthodes physique d'analyse à l'optimisation du processus de dépôt de couches minces TiN par la technique pulvérisation cathodique réactive magnétron en courant continu

  • Philippe Roquiny

    Student thesis: Master typesMaster in Physics

    Abstract

    Date of Award1994
    Original languageFrench
    SupervisorFranz BODART (Supervisor) & Guy Terwagne (Jury)

    Cite this

    '