Application des méthodes physique d'analyse à l'optimisation du processus de dépôt de couches minces TiN par la technique pulvérisation cathodique réactive magnétron en courant continu

  • Philippe Roquiny

    Student thesis: Master types › Master in Physics

    Date of Award1994
    Original languageFrench
    SupervisorFranz BODART (Supervisor) & Guy Terwagne (Jury)

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