Application des méthodes physique d'analyse à l'optimisation du processus de dépôt de couches minces TiN par la technique pulvérisation cathodique réactive magnétron en courant continu

  • Philippe Roquiny

Student thesis: Master typesMaster in Physics

Abstract

Date of Award1994
LanguageFrench
SupervisorFranz Bodart (Supervisor) & Guy Terwagne (Jury)

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Application des méthodes physique d'analyse à l'optimisation du processus de dépôt de couches minces TiN par la technique pulvérisation cathodique réactive magnétron en courant continu
Roquiny, P. (Author). 1994

Student thesis: Master typesMaster in Physics