Rapport de recherche 2005/04/20: Analyse de couches d'oxynitrures de titane déposées sur silicium par RBS et NRA

Research output: Other contribution

Original languageFrench
Publication statusPublished - 2005

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author = "Guy Terwagne",
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TY - GEN

T1 - Rapport de recherche 2005/04/20

T2 - Analyse de couches d'oxynitrures de titane déposées sur silicium par RBS et NRA

AU - Terwagne, Guy

PY - 2005

Y1 - 2005

M3 - Autre contribution

ER -