Rapport de recherche 2002/05/28: Analyse de couches d'oxynitrures de titane déposées sur silicium par RBS et NRA

Research output: Other contribution

Original languageFrench
Publication statusPublished - 2002

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author = "Guy Terwagne",
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language = "Fran{\cc}ais",
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TY - GEN

T1 - Rapport de recherche 2002/05/28

T2 - Analyse de couches d'oxynitrures de titane déposées sur silicium par RBS et NRA

AU - Terwagne, Guy

PY - 2002

Y1 - 2002

M3 - Autre contribution

ER -