Propriétés infrarouges de films et de multicouches d'oxynitrures de silicium

Antoine Ronda, Deda Diatezua Manpuya, Alain Dereux, Jean-Pol Vigneron, Philippe Lambin, Roland Caudano

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageFrench
Pages (from-to)96-98
Number of pages3
JournalLe Vide les Couches Minces
Volume245
Publication statusPublished - 1989

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