Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble)

Julien Demarche; Guy Terwagne

Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble)

Research output: Contribution in Book/Catalog/Report/Conference proceeding › Conference contribution

Original language	French
Title of host publication	4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces
Subtitle of host publication	Actes des Journées
Place of Publication	Paris
Publisher	Société Française du Vide
Pages	87-91
Number of pages	5
Publication status	Published - 2006

Synthesis, Irradiation and Analysis of Materials (SIAM)
Louette, P. (Manager), Colaux, J. (Manager), Felten, A. (Manager), Tabarrant, T. (Operator), COME, F. (Operator) & Debarsy, P.-L. (Manager)
Technological Platform Synthesis, Irradiation and Analysis of Materials
Facility/equipment: Technological Platform

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Demarche, J., & Terwagne, G. (2006). Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). In 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées (pp. 87-91). Société Française du Vide.

Demarche, Julien ; Terwagne, Guy. / Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées. Paris : Société Française du Vide, 2006. pp. 87-91

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Demarche, J & Terwagne, G 2006, Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). in 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées. Société Française du Vide, Paris, pp. 87-91.

Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). / Demarche, Julien; Terwagne, Guy.
4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées. Paris: Société Française du Vide, 2006. p. 87-91.

Research output: Contribution in Book/Catalog/Report/Conference proceeding › Conference contribution

TY - GEN

T1 - Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble)

AU - Demarche, Julien

AU - Terwagne, Guy

PY - 2006

Y1 - 2006

M3 - Article dans les actes d'une conférence/un colloque

SP - 87

EP - 91

BT - 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces

PB - Société Française du Vide

CY - Paris

ER -

Demarche J, Terwagne G. Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). In 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées. Paris: Société Française du Vide. 2006. p. 87-91

Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble)

Equipment

Synthesis, Irradiation and Analysis of Materials (SIAM)

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